借助 3D 粗糙度重建系統(tǒng),飛納臺(tái)式掃描電鏡(SEM)可以生成樣品的三維圖像,并進(jìn)行亞微米量級的粗糙度測量?;凇瓣幱帮@形"技術(shù),3D 成像有助于展示樣品特征。
3D
3D 圖像可以幫助用戶更好地理解樣品特點(diǎn),使得在 2D 圖像中很難分辨的凹坑、劃痕、刻紋等特征,變得清晰可見。
粗糙度
平均粗糙度(Ra)及粗糙高度(Rz)的測量對于生產(chǎn)工藝的控制和改進(jìn)具有重要意義。使用 SEM 圖像作為信息收集手段,可以獲得比傳統(tǒng)(非直接)手段更佳的分辨率。3D 粗糙度重建模塊是飛納臺(tái)式掃描電鏡的理想擴(kuò)展,特別適用于下列領(lǐng)域:
• 機(jī)械加工的質(zhì)量控制
• 紋理分析
• 證物鑒定
• 缺陷 & 失效分析
• 摩擦學(xué)-磨損分析
3D 粗糙度重建系統(tǒng)可在包含多個(gè)飛納臺(tái)式掃描電鏡(SEM)特定應(yīng)用程序的 Phenom ProSuite 中獲得。
3D 粗糙度重建系統(tǒng)的主要優(yōu)點(diǎn):
• 遠(yuǎn)優(yōu)于光學(xué)或機(jī)械測量手段
- 高分辨率
- 可測量反光樣品
- 直接測量
- 非破壞性
• 創(chuàng)新性全自動(dòng)用戶界面
• 基于“陰影顯形",無需傾斜樣品
• 完整解決方案
• 快速重建
• 直觀的用戶界面
傳真:
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