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近年來，隨著科技的發(fā)展和材料尺寸的不斷縮小，掃描電鏡（SEM）已經(jīng)成為一種非常有價值的表征方法。SEM作為一種通用的工具，方便用戶可以對各種各樣的材料進(jìn)行多種不同類型的分析。為獲得更好的結(jié)果，用戶應(yīng)該仔細(xì)設(shè)定SEM參數(shù)。其中一個設(shè)置是束斑直徑，即照射在樣品上的電子束直徑。在這篇博客中，闡述了如何在SEM中調(diào)整束斑直徑，以及如何在高分辨率成像和大束流之間實現(xiàn)平衡，以獲得*結(jié)果。

如何在SEM下調(diào)整束斑直徑

描述SEM中電子束性質(zhì)的四個主要參數(shù)如圖1所示:

1. 使電子在電鏡腔室中運動的加速電壓
2. 電子束的會聚角
3. 轟擊樣品的電子束流大小
4. 到達(dá)樣品表面的zui終束斑直徑。

圖1：SEM中電子束的四個主要參數(shù)：加速電壓、會聚角、電子束流和束斑直徑